晶圆和模具对齐
精确对齐晶圆和模具以确保可靠的性能
无论是在光刻工艺、晶圆探针和测试过程中,还是在晶圆安装和切割过程中,视觉对准不良都会在机器的使用寿命内导致数千次辅助和损坏晶圆。性能不佳的视觉系统降低了半导体设备公司的市场份额,并大大增加了其支持成本。
PatMax技术为晶圆检测,探测,安装,切割和测试设备提供鲁棒,准确,快速的晶圆和模具图案位置,以帮助避免这些问题。Patmax采用专利的几何图案查找算法定位并对齐可变晶片和模具图案。它以高精度和高可重复性对齐晶片和模具,确保整个半导体制造过程中可靠的设备性能。凭借康康克斯,OEM可以优化其设备的整体性能,提高质量和产量。